中华迷信院光电手艺研讨所邢廷文课题组在高数值孔径物镜波像差测量手艺的研讨中获得停顿：提出了一种基于二维衍射光栅的高数值孔径物镜波像差测量体例，指出了高数值孔径物镜波像差测量时触及的几个特别成绩和处理体例。该体例还可以利用于短波(如深紫外(DUV)、极紫外(EUV)、X射线等)光学零碎的波像差测量。　　波像差是评价光刻投影物镜机能的一个首要目标，直接影响光刻机零件的辩白率、临界尺寸、成像对比度和工艺窗口等。光刻投影物镜具稀有值孔径大年夜、任务间隔短、波像差极小等特点，45 nm节点光刻投影物镜要求完成亚纳米量级精度波像差测量。这类高精度测量的难点在于高精度相位测量体例的研讨、关头器件的制备、测量环境影响的节制和零碎误差的高精度标定。　　研讨职员阐发了振幅型棋盘光栅的远场衍射特点，其具有更高的衍射效力和更少的衍射级，以此为根本设计了一种基于振幅型棋盘光栅的二维剪切干与仪，并利用二维傅里叶变换和波前重构体例精确答复复兴出被测波前，完成了高数值孔径物镜的波像差测量。研讨职员进一步阐发和指出高数值孔径物镜波像差测量时面对的成绩：光瞳坐标畸变、光栅方程非线性、光瞳照度衰减，光瞳坐标畸变会影响波前重构精度，光栅方程非线性会引入必然的零碎误差，光瞳照度衰减会导致干与图边沿信噪比降落、鸿沟提取困难。经由过程实际测量数值孔径为0.6的显微物镜的波像差，验证了波像差测量体例和几个特别成绩，提出了照应的修改和改良体例。尝试成果表白：利用光瞳坐标均匀值时波像差的测量反复性(3σ)可以达到3.7 mλ，若是改良照明前提，反复性另有进一步晋升的空间。 信息来源：化工设备网